■ 硅、碳化物、陶瓷、玻璃、鍺、砷化鎵和其他脆性材料的研磨
■ Si/Cu、樹脂的研磨
■ GNX200B
■ GNX200BH(可用于SiC材料的研磨)
■ GNX 300B(最大可對應(yīng)12英寸晶圓)
■ VG401MKII(可用于陶瓷吸盤的研磨)
擁有自己的鑄造工廠,作為核心部件的主軸及其他關(guān)鍵零部件全部自供,保證了材料的質(zhì)量穩(wěn)定性
■ 擁有百年歷史的岡本公司為磨床專業(yè)制造商,在其核心部品---主軸上具有獨特的技術(shù)&實力。
-岡本是世界主要精密磨床核心部品---<主軸>供應(yīng)商,供應(yīng)全球知名精密磨床廠家。
-AL2O3、ALN等硬度較高的材質(zhì),對于主軸等核心部件的剛性要求極高。
■ 岡本也是靜電卡盤產(chǎn)品專業(yè)的設(shè)備供應(yīng)商。
-在超純AL2O3,ALN等材質(zhì),特別是大尺寸超平滑研磨工藝上被廣泛使用。
特殊工藝設(shè)計的不可替代性
■ 岡本的研磨主軸帶角度調(diào)節(jié)功能。
-可針對高精密大尺寸等特殊工件局部部位有針對性研磨。
-靈活應(yīng)對<異形-中凸\中凹>等工件。
-研磨精度更高&更穩(wěn)定&更靈活。
■ 磨削負(fù)荷波動很小。
■ 配備在線量儀,時時在線監(jiān)測工件厚度(雙探針型)。
■ 破碎層和外周崩邊達(dá)到極小。
■ 其他廠商多為<工作臺角度調(diào)節(jié)>
運營成本優(yōu)勢明顯
-良品率高。
-主軸等核心部件穩(wěn)定性高&使用壽命長。
-砂輪磨損量小,使用效率更高:磨料 | 粒徑 | 結(jié)合劑三大核心技術(shù)+全球使用業(yè)績。
■ 砂輪主軸采用高剛性空氣軸承和大功率研磨主軸,研磨剛性更大。
■ 磨削精度高,穩(wěn)定性好。
■ 高剛性支撐。
-支撐磨削主軸的機械單元由高剛性鐵鑄件制成。該機構(gòu)可承受重型磨削時的機械沖擊。
-主軸垂直導(dǎo)軌高剛性直線滾子導(dǎo)軌-接觸面積更大、承載負(fù)荷大、靈敏度高。
采用雙研磨軸,旋轉(zhuǎn)工作臺,機器人上下料,大大提高了生產(chǎn)效率。
工作臺采用高剛性空氣軸承,通過交流伺服電機驅(qū)動和蝸桿變速實現(xiàn)穩(wěn)定工作。
配備高壓噴射裝置的研磨例:
■ 硅/銅研磨
■ 樹脂研磨
主軸轉(zhuǎn)速:最大1800min-(120Hz)
主軸軸承:空氣軸承
主軸快速度進(jìn)給:180mm/min
主軸磨削速度:最大999um/min
工作臺直徑:400mmΦ
工作臺軸承:空氣軸承
真 空 卡 盤:陶瓷卡盤
卡具:真空
工作臺轉(zhuǎn)速:1-200min-1
工作臺電機:交流伺服電機3.0kW